세계 최소, 배선 폭 3μm의 초미세 잉크젯 동배선 기술을 개발

- 차세대 IC 기판이나 초소형 프린트 기판에 응용 - 일본 독립행정법인 신에너지 산업기술 종합개발기구(이하, NEDO)와 주식회사 SIJ 테크놀로지(SIJ Technology), 주식회사 이옥스(Iox), 일본 특수도업(주), 오사카(Osaka) 시립 공업 연구소, 독립행정법인 산업기술 종합 연구소(이하, AIST)는 잉크젯 방식에 의한 동 배선으로 세계 최소 선폭(船幅)이 되는 3μm의 초미세 배선 형성 기술(주 1)을 개발하였다. 이번에 개발...


원문출처 : http://mirian.kisti.re.kr/futuremonitor/view.jsp?record_no=242028&cont_cd=GT